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製品概要

モデル名 : AR-4GS-800, 1000 (アーム長：470mm)
AR-4GS-800S, 1000S(アーム長: 380mm)
適用環境 : クリーンルーム
主な搬送物 : 第3, 4世代ガラス基板

特徴

クリーンルーム中でFPDガラスを搬送するシングルアームロボットです。
Ｚ軸ストロークは800, 1000mmです。
テレスコープ式Z軸機構で低いパスラインを実現しています。
アブソリュートエンコーダー式ACサーボモーターを採用しています。
ガラスの保持は真空吸着、クランプ、非接触吸着等の対応ができます。
コントローラはウエハ搬送に最適化されており、煩雑なプログラム作成をせずに標準で用意されている多彩なコマンドだけで搬送動作を実現できます。
装置レイアウトに応じて原点位置とストローク、メカストッパ位置等をあらかじめ設定してあるので装置への組み込みとセットアップが容易です。

カスタマイズオプション

各種安全規格に準拠した仕様も対応できます。
ご要望に応じた搬送ハンドの製作ができます。
ロボット取付フランジやハンド取り付けブラケット等を装置レイアウトに合わせて変更することができます。
バッテリレスアブソリュートエンコーダー式の対応もできます。
原点センサー付き仕様も対応できます。
ロボット走行軸もロボット制御軸として対応できます。
ロボット固定方法は底面または上面フランジ、サイドフレームの固定ができます。
ガラスの表裏を反転させる軸を追加できます。