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製品概要

モデル名 : AR-SV350B-150 (アーム長：170mm)
AR-SV350B-150L(アーム長：240mm)
適用環境 : 真空、窒素等
主な搬送物 : 300mmシリコンウエハ

特徴

真空環境下でウエハを搬送するシングルアームロボットです。
長いZ軸ストロークにより、150mmの動作範囲を確保しています。
真空シールは特別に作られたメカニカルシールで温度や圧力変化に強く安定した性能を発揮します。
アブソリュートエンコーダー式ACサーボモーターを採用しています。ウエハ搬送に最適化された専用コントローラを備えており、煩雑なプログラム作成は不要。標準搭載の多彩なコマンドを活用するだけで、効率的な搬送動作が可能です。
装置のレイアウトに応じて、原点位置・ストローク・メカストッパ位置などを事前設定済みのため、装置への組み込みやセットアップも容易に行えます。

カスタマイズオプション

各種安全規格に準拠した仕様で、安全基準を満たす設計が可能です。
お客様の要望に合わせた搬送ハンドをオーダーメイドで製作し、最適な搬送を実現します。
装置レイアウトに合わせて、ロボット取付フランジやハンド取り付けブラケット等の変更が可能です。
バッテリレスアブソリュートエンコーダーの対応も可能です。